수평형전기로
산화/확산공정을 진행하기 위한 2 tube stack형 전기로
- 모델명 :
- 사용료 :
- 보유장소 : E1-204 반도체신재생에너지공정실습실
마스크얼라이너
금속배선과 같은 미세 형상을 형성시키기 위하여 표면에 마스트 형상을 전사시키기 위한 장비
- 모델명 : MA-1100
- 사용료 :
- 보유장소 : E1-204 반도체신재생에너지공정실습실
진공열증착기
금속박막을 진공 증착시키는 장비
- 모델명 :
- 사용료 :
- 보유장소 : E1-204 반도체신재생에너지공정실습실
태양전지스크린프린터
태양전지의 전면/후면 전극을 스크린 인쇄법으로 형성하기 위한 장비
- 모델명 : AM-120070-A01
- 사용료 :
- 보유장소 : E1-204 반도체신재생에너지공정실습실
플라즈마 건식식각 및 증착장치
플라즈마를 이용하여 산화막을 건식식각하거나 반사방지막인 SiNx박막을 플라즈마 화학기상 증착을 동시에 수행 할 수 있는 장비
- 모델명 :
- 사용료 :
- 보유장소 : E1-204 반도체신재생에너지공정실습실
인쇄회로기판제작시스템
설계된 PCB 회로를 동판에 인쇄함
- 모델명 : LPKF ProtoMat S63
- 사용료 :
- 보유장소 : E1-305 네트워크실험실
전기기기실습장비
발전기 전동기 등을 실습하기 위한 전원공급창치로부터 전기동력계 등 모듈형태로 구성.
- 모델명 :
- 사용료 :
- 보유장소 : E1-116 전기기기실습실
자동화 모듈 실습장치
PLC기반의 자동화생산공장 라인을 소형화하여 실습할수 있도록 제작된 실습장비 세트
- 모델명 :
- 사용료 :
- 보유장소 : E1-321
PLC 응용 실습장비
교육용 Mitsubishi MELSEC PLC
- 모델명 :
- 사용료 :
- 보유장소 : E1-320 PLC 응용실습실
분별증류장치시스템
액체 혼합물의 끓는점 차이를 이용한 분리.
각종 유기용제의 분리, 정제 등에 활용
- 모델명 : Normag labor-und Prozesstechnik GmbH(Germany)
- 사용료 :
- 보유장소 : E1-517 화학기기실